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        中科院微電子研究所KW-5型勻膠機(jī)/旋涂?jī)x

        更新時(shí)間:2023-11-12

        簡(jiǎn)要描述:

        中國(guó)科學(xué)院微電子研究所生產(chǎn)的KW-4A/KW-5型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型和KW-5型。

        品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間1-5萬(wàn)
        產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,航空航天

        中國(guó)科學(xué)院微電子研究所生產(chǎn)的KW-4A/KW-5型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型和KW-5型。 

        技術(shù)參數(shù)及要求:變頻調(diào)速
        基片尺寸:Φ100-Φ200mm(4 英寸~8 英寸)
        轉(zhuǎn)速:500-5000 轉(zhuǎn)/分
        轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1%
        旋涂均勻性:±5%
        旋涂工藝階段:2 段
        旋涂時(shí)間:Ⅰ速0~18S;Ⅱ速0~60S
        整機(jī)尺寸(長(zhǎng)寬高):425 mm×500 mm×300 mm
        裸機(jī)尺寸(長(zhǎng)寬高):425mm×500mm×190mm
        電機(jī)功率:180W
        適應(yīng)材料:硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs、GaN、InP 等各種材料

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