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        中科院微電子臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/涂膠機(jī)

        更新時(shí)間:2023-11-12

        簡(jiǎn)要描述:

        我研究室生產(chǎn)的KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型和KW-5型。

        產(chǎn)品主要特點(diǎn)

        1、開關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。

        2、轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

        品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
        應(yīng)用領(lǐng)域電子

        中國(guó)科學(xué)院微電子研究所 KW-4A型臺(tái)式勻膠機(jī)/旋涂?jī)x/涂膠機(jī)

        產(chǎn)品簡(jiǎn)介 

        我研究室生產(chǎn)的KW-4A型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號(hào)有KW-4A型和KW-5型。 

        產(chǎn)品主要特點(diǎn) 

        1、開關(guān)電流調(diào)速,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn)。 

        2、轉(zhuǎn)速在500~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。   

        3、采用雙轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動(dòng)轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時(shí)間分別可調(diào),時(shí)間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。 

        4、具有定時(shí)功能。  

        5、測(cè)速采用光電的辦法,產(chǎn)生光電脈沖,由晶體分頻測(cè)速準(zhǔn)確性高。  

        6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作,適合流水線的工藝,提高了效率。   

        7、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低。 

        性能指標(biāo):

        參數(shù)

        指標(biāo)

        調(diào)速范圍和勻膠時(shí)間

        Ⅰ檔調(diào)速范圍:500-2000轉(zhuǎn)/分Ⅰ檔勻膠時(shí)間:2-18秒

        Ⅱ檔調(diào)速范圍:1300-8000轉(zhuǎn)/分Ⅱ檔勻膠時(shí)間:3-60秒

        適用

        Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠

        電機(jī)功率

        40W

        LED數(shù)字顯示

        轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%,膠的均勻性:±3%

        真空泵抽氣速率

        ≥60升/分

        儀器尺寸

        210×220×160mm

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